Купить высоковакуумные насосы - каталог с ценами и характеристиками
Каталог

Высоковакуумные насосы

Впервые вакуумная откачка струей пара была произведена полтора века назад Робертом Бузеном. С тех пор пароструйные агрегаты занимают свою нишу в вакуумной технике. Пароструйные насосы работают в диапазоне низкого (эжекторные) среднего (бустерные) и высокого (диффузионные) вакуума. Рабочее давление 5•10-2—5•10-5 Па, скорость откачки от 340 л/сек до 130 000 л/сек. Рабочей жидкостью может быть вода, ртуть, масло.

Высоковакуумные диффузионные насосы бывают парортутные и паромасляные. Ртуть в настоящее время используется крайне редко, в основном рабочей жидкостью паромасляного высоковакуумного агрегата являются масла минеральные или синтетические и специально созданные для диффузионных средств откачки сложные эфиры.

TURBOVAC MAG W 300 iP

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
FF-100/300

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC 90 i/iX

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
CXF-200/1400E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
CXF-250/2300E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC MAG W 400 iP

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
FF-40/25E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC 250 i/iX

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
CXF-320/3000

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC MAG W 600 iP

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
FF-63/80E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC 350 i/iX

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
CXF-200/1401

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC MAG W 700 iP

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
FF-100/150E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC 450 i/iX

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
CXF-250/2301

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC MAG W 1300 iP

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос
FF-100/300E

Марка: KyKy

Страна: Китай

Цена по запросу Сделать запрос
TURBOVAC T 350 i/iX

Марка: Leybold

Страна: Германия

Цена по запросу Сделать запрос

Высоковакуумные насосы

Честные
цены

Прямые поставки
от производителей

Складские
запасы

Всегда в наличие
ходовые модели

Бесплатная доставка

Отгрузка в течении
24 часов

Помощь
в подборе

По параметрам,
аналоги

Сферы и области применения высоковакуумных насосов

Высокий вакуум условный термин, но с ясным смыслом — это такой уровень вакуума когда пролет молекулы (иона, электрона) из начальной точки в конечную происходит без столкновения с молекулами остаточного газа. Т.е. частицы внутри установки летят по прямой от источника к приемнику (если нет электрического и магнитного полей). При малых и очень малых дистанциях пролёта рабочее давление остаточных газов может быть больше. Но в целом диапазон высокого вакуума это 10-3—10-7 мБар.

Соответственно все высоковакуумные средства откачки на своем входном патрубке в рабочих условиях имеют молекулярный режим течения газа: длина свободного пробега молекул газа больше размера установки.

Необходимость высоковакуумных средств откачки поэтому понятна в областях их применения:

  • производство электронно-лучевых приборов, фотоэлементов, рентгеновских трубок,
  • в ускорителях заряженных частиц,
  • в электронных микроскопах,
  • в масс-спектрометрах,
  • в установках вакуумной сварки электронным лучом,
  • в технологических установках вакуумного напыления покрытий, вакуумного испарения,
  • в установках молекулярной дистилляции тяжелых органических молекул из жидкой фазы в вакууме,
  • в имитаторах космического пространства.

В других устройствах, где движение частиц должно быть свободным, без столкновений с молекулами остаточного газа или в особо чистых условиях.

Так же высоковакуумные средства откачки применяются для начального вакуумирования сверхвысоковакуумных установок.

Категории высоковакуумных насосов

  • Вращательные
  • Поршневые
  • Жидкостно-кольцевые
  • Вращательные

Принцип действия высоковакуумных насосов

В условиях высокого вакуума молекулы остаточного газа движутся хаотически, практически не сталкиваются между собой.

Примерно половина из них движется в сторону откачки. Задача высоковакуумного насоса захватить поток этих молекул и не дать им вернуться в откачиваемый объем. В зависимости от насоса эта задача реализуется тем или иным способом.

Высоковакуумные диффузионные насосы

Требования к рабочей жидкости паромасляного средства откачки:

  1. низкое давление насыщенного пара при нормальных условиях,
  2. высокое давление пара при рабочей температуре,
  3. однородность состава,
  4. термическую устойчивость,
  5. отсутствие химической активности,
  6. низкую удельную теплоту парообразования,
  7. низкую склонность к растворению газов.

Рабочая жидкость нагревается в нижней части корпуса и пар по специальной многоярусной сопловой системе подается к входному патрубку насоса. Кольцевые сопла сложной формы, расположенные в несколько ярусов друг над другом, создают поток паров масла на охлаждаемую стенку в виде образующей конус поверхности. На охлаждаемых стенках корпуса масло конденсируется и стекает по стенке вниз обратно к нагревателю. Так формируется многоярусный рабочий поток пара.

Молекула остаточного газа влетает в этот поток пара, диффундирует в струю, увлекается ей вниз. Так молекула получает нужное направление движения и не может вылететь обратно в откачиваемый объем. Для работы насоса необходим форвакуум на выхлопном патрубке. При давлении газа на выходе в несколько десятков бар — паровая струя срывается. Для получения предельного остаточного давления на выходе высоковакуумного диффузионного насоса ставят бустерный насос.

Достоинства диффузионных насосов: высоковакуумное средство откачки с низкой ценой, простое в обслуживании, надежное, долговечное.

Недостатки: это масляное средство откачки, оно потребует на входном патрубке масляной ловушки и вакуумного затвора.

Высоковакуумные турбомолекулярные насосы

Рабочее давление: от 1•10-4 до 5•10-8 Па, скорость откачки: от 25 до 3200 л/сек. В 1958 году был разработан высоковакуумный насос по схеме осевого компрессора. Теперь турбомолекулярные насосы — основное средство получения высокого вакуума в промышленных и научных установках. Прогресс в технологии разработки и изготовления сложных узлов и механизмов в последнее время привел к существенному снижению стоимости и резкому повышению качества этих средств откачки. Магнитная подвеска, прецизионная обработка деталей произвела переворот в этой отрасли.

Схема работы ТМН очевидна и проста, сложна техническая реализация.

Внутри корпуса расположены два соосных пакета пластин с наклонными друг к другу поверхностями и минимальными расстояниями друг от друга. Один пакет неподвижен, другой быстро вращается. Скорость взаимного движения пакетов сравнима со скоростью молекул. Такая вращающаяся система обеспечивает преимущественное прохождение молекул в сторону откачки и препятствует обратному движению молекул в сторону рабочего объёма. А поскольку это не одна пара пластин, а именно пакет из множества таких пар — эффективность откачки ТМН исключительно велика.

Турбомолекулярный насос требует на выходе форвакуумное средство откачки. Если между ТМН и фор-насосом поставить бустерный насос Рутса — предельный вакуум улучшится на порядок. ТМН отзывчив к вакууму на выходном патрубке.

Достоинства турбомолекулярных средств откачки: нет масла, не нужен затвор на входе, быстрый выход на рабочий режим, не нужен байпас предварительной откачки.

Недостатки турбомолекулярных  средств откачки: сложная конструкция требующая квалифицированного ухода (не часто).

Другие высоковакуумные средства откачки

Существует класс высоковакуумных  средств откачки основанных на поглощении газов. У них нет выхлопного патрубка, они требуют предварительной откачки объема, потому что имеют конечную величину количества поглощенного газа. Это адсорбционные и криогенные насосы. После насыщения они требуют обезгаживания. Такие агрегаты - средство откачки циклического действия и они часто ставятся парами, работая по очереди. Так же есть класс насосов геттерного типа: геттерно-ионные и магниторазрядные, они также поглощают газ внутренней поверхностью, но имеют систему обновления геттера (напыления нового слоя). Регулярно их требуется греть и производить обезгаживание. Данные средства откачки почти не применяются в промышленных установках, но используются в специализированных лабораторных и научно-исследовательских задачах.